半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料精致首测设备配套涉重生活污水——MVR硬性重复零排好项目
活动背景图案
半导体技术材料舒适公测大型的项目,市场规模150立米米/天,是首条半导体技术材料公测匹配涉重废气零排大型的项目。公测重要环节的镀镍、镀铜、引线骨架家电清洗会制造含镍含铜废气,小区必须"无尾水外排",产水所有的工业废水处理于产线。
水质量特证与关键点
废水解决以含镍为核心(生物碳废气浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH跌涨大(2–12),还有光刻胶使用量的多量生物碳物。测封厂地方紧,需要解决措施土地征用小;零排暗示着着浓水不能够建筑垃圾清运过多,须要本地化多效蒸发析出开环。
处置技术线路
整个走"分质采集 → 预除理除杂 → 电化学沉垫除镍 → 过滤器 → UF+多级RO → MVR禁止循环往复多效蒸发 → 冷凝水水使用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢腐蚀钠生成二维码Ni(OH)₂凝固,加上混炼钠广度收集残余物镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升下面);
沉垫喷水经多媒质脱水+安全脱水后进UF,再进第一RO,产水可以直接回产线除污;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR硬性性嵌套循环法多效蒸发掉器,硬性性嵌套循环法能扛高含盐水垢,多效蒸发掉器原有网上除污,难于堵;
MVR冷却水水回来循环池子,蒸发器残液委外焚烧炉或当作危险废弃物治理,整个的厂内无液体状态外排。
核心生产设备特征阐述
MVR强制性巡环往复相对来说一般的降膜蒸发掉掉器,巡环往复水流量高、热传导面不要结镍盐/碳酸盐垢,合适测封这"蓄水量并不大但水源杂"的动画场景;集成化撬装设计构思占地面积比一般蒸发掉掉器塘+多效蒸发掉掉器规划小60%之上;废气侧配备生物学滤池,把调整池和工业废水间的废气获得后光降解成CO₂和水,预防测封厂紧临办公场所区的怪味匿名举报。
补救效率与效益分析
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,更为重要《化学镀破坏物减排条件》表三;全不150立米米/天产水工业废水处理于首测产线拆洗,使用等量最新水;垃圾(挥发残液+污泥干化)量比传统化"沉淀自己+减排"经营模式减约70%。对富士康侧,首测产品节能环保运营卡点被揍通;