某半导体材料制作业中小企业因晶圆洗流程制造含氨电镀废水,水流量200吨/天。电镀废底层的水中除氧化还原电位外还包含有氟化物和少量血本属,治疗的难度大。是时间污染物基准必须氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣组分及收入
晶圆冲洗废气(关键特征):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工步化工废水:含进样器铜、镍等血本属,pH值跌涨大
CMP机磨废渣:含硅颗粒物及挥发酚
处里制作工艺流量
使用"化学上乳浊液+膜拆分+折点氯化"三人组合加工过程:
预解决
:加药CaCl2除氟,掌握pH在7.5-8.
反渗透装置软件
:清除0.01μm上文小粒物
反渗入果汁
:将挥发酚精浓至1000mg/L超过
折点氯化
:高精度控住氯污泥脱水量,将高锰酸盐指数转变成为氦气
亚铁离子交易
:担保血本属不合格
终极的效果
高锰酸盐指数不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属硫含量达不到测试限
水循环率达75%
工业废水会产生量才能减少40%