某半导体器件集成块创造厂在晶圆激光加工时中,操作硅烷开始硅概念繁殖,空气洗涤剂塔生成高浓硫酸浓度含硅生活污水。生活污水有pH上下波动大(2-11)、硅含锌量高的优点和缺点,传统性清理方式易导致硅垢堵住话题。
废气基本成分及来原
化工废水具体的成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢被氧化钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液残余的
顆粒硅
:nm级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原辅料沉渣带到
除理技术操作流程
改革创新选取"有级与+膜过滤装置+蒸发掉成果"技艺:
特一级结合
:用CaO调整pH至4-5,产生硅酸钙奠定,硅快速清理率60%。
2级采和
:加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进十步乳浊液多余硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜系统的
:0.02μm瓷质膜脱水微米级硅粒状,通量保持稳定在80LMH。
MVR蒸馏器
:精提高盐电镀废水,沉淀出Na₂SO₄副产设备,水中水回用率超90%。
最终能够效用
总硅从1500mg/L降下来5mg/L一下
砷份量从0.8mg/L降到0.01mg/L
机系统无结渣加载超过了2年
第二年回收并硫酸钠钠晶状体约800吨